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…> <br> <p align='left'> <br> <br> 一、基本情况<br> <br> 原公告的采购编号*************<br> <br> 原公告的采购名称*************<br> <br> 首次公告日期*************<br> <br> 二、更正信息<br> <br> 更正事项*************<br> <br> 更正内容*************<br> <p align='left'> <br> <table border='1' width=% id='' border='1' cellspacing='0' cellpadding='0'> <br> <tr> <td width=% id='' rowspan='2'> <p align='left'>序号<br> </td> <td width=% id='' rowspan='2'> <p align='left'>原采购公告、采购文件内容<br> </td> <td width=% id='' rowspan='2'> <p align='left'>更正后的采购公告、采购文件内容<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <p align='left'>采购公告及第一章磋邀请四、响应文件提交截止时间*************<br> <p align='left'>****年**月**日 ***************<br> </td> <td width=% id=''> <p align='left'>采购公告及第一章磋邀请四、响应文件提交截止时间*************<br> <p align='left'>****年**月**日 ***************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <p align='left'>采购公告及第一章磋邀请五、开启时间*************<br> <p align='left'>****年**月**日 ***************<br> </td> <td width=% id=''> <p align='left'>采购公告及第一章磋邀请五、开启时间*************<br> <p align='left'>****年**月**日 ***************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <p align='left'>采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求.（*.*.*）条及第七章合同草案条款第七项第*.（*.*.*）条*************<br> <p align='left'>*.*.* 甲方代表参与交货前检验及签署交货前检验记录的行为…不视为对合同货物质量的确认…不影响乙方交货后甲方依照合同约定对合同货物提出质量异议和（或）退货的权利…也不免除乙方依照合同约定对合同货物所应承担的任何义务或责任。<br> </td> <td width=% id=''> <p align='left'>采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求.（*.*.*）条及第七章合同草案条款第七项第*.（*.*.*）条*************<br> <p align='left'> *.*.*预验收阶段…乙方需要在甲方的见证下对设备*+离子注入能力进行验证…验证方法为*************<br> *<br> 气源…然后引出*+离子…确定*+粒子的质量数。记录束流大小<br> **<br> 以及*+粒子质量数<br> …<br> 并出具相应验证报告…验证报告作为终验收报告的组成部分。<br> <br> <p align='left'> <br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 设备可注入*、**离子<br> <br> 测试方法*************<br> *<br> 、**、***、**气体源…然后分别引出这些元素离子…确定各种粒子的质量数；<br> <br> <br> 测试结果*************<br> **…质量数*************<br> <br> <br> *+束流为 **…质量数*************<br> <p align='left'>**+束流为 **…质量数*************<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 设备可注入**离子<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 测试结果*************<br> <p align='left'>**+束流为 **…质量数*************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 能量＞******<br> <br> 能量为＞******…引出的*+束流进行试验…稳定工作**分钟…试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准；<br> <br> 测试结果*************<br> 。<br> <br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 能量＞******<br> <br> 能量为＞******…引出的**+束流进行试验…稳定工作**分钟…试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准；<br> <p align='left'>测试结果*************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 注入均匀性优于*%<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 注入参数*************<br> **<br> ****/**<br> *<br> …注入角度为*°…取同批注入中相同工艺参数的任意*片硅片利用退火炉退火…退火后用四探针测试仪测方块电阻…按照相对标准方差的统计规律…计算出均匀性参数…仪器相对偏差≤*.*%…每片测量**个点（**个点在去掉边缘***后的范围内取）；<br> <br> <br> 测试结果*************<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 注入均匀性优于*%<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 注入参数*************<br> **<br> ****/**<br> *<br> …注入角度为*°…取同批注入中相同工艺参数的任意*片硅片利用退火炉退火…退火后用四探针测试仪测方块电阻…按照相对标准方差的统计规律…计算出均匀性参数…仪器相对偏差≤*.*%…每片测量**个点（**个点在去掉边缘***后的范围内取）；<br> <br> <br> 测试结果*************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 剂量范围<br> <br> 测试方法*************<br> **<br> …完成均匀性建立…测试注入是否正运行。能够正注入…则设备能够满足最小剂量注入要求。设备引出***或更大的束流…设置注入剂量为**<br> **<br> …完成均匀性建立…测试注入是否正运行。能够正注入…则设备能够满足最大剂量注入要求。<br> <br> <p align='left'> 测试结果*************<br> 。<br> <br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 剂量范围<br> <br> 测试方法*************<br> **<br> …完成均匀性建立…测试注入是否正运行。能够正注入…则设备能够满足最小剂量注入要求。设备引出***或更大的束流…设置注入剂量为**<br> **<br> …完成均匀性建立…测试注入是否正运行。能够正注入…则设备能够满足最大剂量注入要求。<br> <br> <p align='left'> 测试结果*************<br> 。<br> <br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 设备辐射剂量要求<br> <br> 测试方法*************<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 设备辐射剂量要求<br> <br> 测试方法*************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>*<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 离子注入束流稳定性<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 测试结果*************<br> 。<br> <br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 离子注入束流稳定性<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 测试结果*************<br> 。<br> <br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>**<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 能量精度<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 测试结果*************<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 能量精度<br> <br> 测试方法*************<br> <br> 测试结果*************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <tr> <td width=% id=''> <p align='left'>**<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 新增颗粒<br> <br> 测试方法*************<br> ******, ***, **<br> **<br> ****/**<br> *<br> 。注入完成后再进行颗粒检测（去除边缘***范围）,前后数据的差值为颗粒污染值。<br> <br> <br> 测试结果*************<br> </td> <td width=% id=''> <br> 采购文件第五章技术、服务需求二、具体需求或要求*、务及其他要求（*.*.*）入所验收离子注入机检验规程及第七章合同草案条款合同附件*离子注入机检验规程*************<br> <br> 新增颗粒<br> <br> 测试方法*************<br> **<br> ****/**<br> *<br> 。注入完成后再进行颗粒检测（去除边缘***范围）,前后数据的差值为颗粒污染值。<br> <br> <br> 测试结果*************<br> </td> <td width=% id='0' height=''></td> </tr> <br> </table> <br> <br> <br> 更正日期*************<br> <br> 三、其他补充事*************<br> <br> 无。<br> <br> 四、凡对本次公告内容提出询问…请按以下方式联系。<br> <br> *.采购人信息<br> <br> 名称*************<br> <br> 地址*************<br> <br> 联系方式*************<br> <br> *.采购代理机构信息<br> <br> 名称*************<br> <br> 地址*************<br> <br> 联系方式*************<br> <br> *.联系方式<br> <br> 联系人*************<br> <br> 电　　话*************<br> <p id='divDS_de2f_b_c_8b_2ebfaf' align='left'> <br> <br> <br> <br> <br> <br>