一、项目名称：无锡芯动半导体科技有限公司研发应用实验室芯片探针台采购项目
二、项目概况与招标范围
本工程采取交钥匙工程形式，主要内容为芯片探针台1套。
三、技术要求
1.晶圆规格:晶圆尺寸：6inch/8inch；晶圆厚度100μm-1500μm
2.X轴
行程≥200mm；速度≥150mm/S；定位精度：≤±5μm；分辨率≤0.15μm；
3.Y轴
行程≥350mm；速度≥150mm/S；定位精度：≤±5μm；分辨率≤0.15μm；
4.Z轴
行程≥10mm；定位精度：≤±5μm；分辨率≤0.15μm；
5.Θ轴
微调范围：≤±15°；分辨率≤0.00005°；
盘
①材质 铝盘；
②平面度 ≤±5μm；镀层 金；
③接触电阻 ≤20mΩ；
④温度精度 ≤5%；
⑤最高电压 3000V；
⑥最高电流 ≥400A pulse / 10A DC；
⑦温度 25℃~300℃；
⑧漏电指标（3000V） ≤20fA@25℃~200℃、≤30fA@300℃
7.高压保护;人员保护、氮气装置
8.视觉对准系统
①对准系统 ：实时MAP/模板对准；
②相机： 1028*1024 pixels；
③显微镜： 三目显微镜+视觉套件；
④Z轴工作距离 ≥80mm；
⑤光源： LED环光照明；
9.控制系统
①工控机 高于DFI-610L；
②操作系统 Windows7；
③显示器 21.5寸TFT-LCD monitor；
④软件系统 自带；
10.操作
①打点方式 喷墨打点；墨点尺寸:Φ0.5mm;
②操作模式 操作员/工程师/管理员;
③探测形式 圆形测试/MAP 测试/重测/跳测;
④MAP 图形 编辑/加载/导出;
⑤对准 自动扫平/首点对准;
⑥测试仪接口 接口 GPIB/RS232/串口
11.探针/探卡
①高功率探针; 电流≥250A pulse/20A DC 电压≥10000V;
②高压探针: 电压≥3000V 电流≥5A pulse.
12.测试台匹配
与现有Keysight B1506A搭配使用，需配备转接模块。
13.工期
合同签订后最晚90天内。
四、供应商资质要求
1.投标方应具备销售芯片探针台设备的资格；
2.投标方具备完善的售后服务体系，配备专业的安装调试人员，售后服务维修人员。
五、业绩要求（报名业绩作为报名审核，投标书中应包含且不限于报名业绩）
投标方近5年内与同种设备的业绩（提供合同证明文件）。
六、报名要求
1.报名方式
①凡有意参加报名的供应商，请至长城控股电子招标平台注册报名：地址为：
②如无法在招标平台完成注册的，请及时联系报名联系人。
2.报名截止时间：2023年05月15日 17:00
七、联系方式
1.项目所在地：上海嘉定
2.报名联系人及联系方式：赵博:18633299669/0312-2197725
3.如对本项目有技术疑问或想了解更多详细信息，可将问题分条描述清晰，发送至（zbgys@）。邮件中请注明公司名称、联系人及联系电话；
4.邮件主题须注明项目名称、报名联系人，如XX项目疑问XX收，将统一进行答疑回复。
八、招标文件的获取
1.本项目投标意向金为：300元（大写:人民币叁佰元整）。
投标意向金缴纳后不予退还；若项目在招标过程中任意环节因招标方原因取消的，可办理投标意向金退款（若供应商已办理开票将不予退款）；
2.报名时需同步上传交款凭证，若为免费标书则上传空白页即可。
3. ①缴费时请在交款凭证上备注“项目简称” ，如为个人代缴，请在交款凭证上备注“项目简称+参标公司简称” (注：项目简称填写标的物名称即可)
②开票要求：在长城控股电子招标平台（不用登录）（ style="font-size:16px;">）左下方查找开票信息模板，按照要求填写后将EXCEL版发至gfzbb@，开具后“51发票”直接将发票链接回复至邮箱中，若有疑问，请电话联系王薇，电话0312-2197731
注：a. 个人缴纳投标意向金如需开具发票抬头为公司的发票，需出具加盖该企业公章的委托个人代付的说明文件，否则无法开具发票;b.发票开具完成后，意向金不再退还。c.贵司提供发票信息后，大约25个工作日左右开具电子发票并发至邮箱，请耐心等待,若超过25个工作日未收到发票，请及时联系王薇，电话0312-2197731，逾期未查收导致发票无法报销的，不再重开。
九、交款账户信息（请避开月底最后两天打款）
开户银行：中信银行股份有限公司保定分行(行号：302134024517)
更多
