铌酸锂光波导刻蚀机项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：铌酸锂光波导刻蚀机

1.2 招标编号：0779-26400341A013

1.3 项目概况

主要用于铌酸锂基片及薄膜的高精度刻蚀，通过等离子体刻蚀技术在铌酸锂材料表面形成高深宽比、高垂直度的微纳结构，支持电子束光刻胶等掩模方式，满足光波导器件的精密加工需求。

设备主要指标：

（1）刻蚀反应腔室具备加热功能，加热温度≥50℃，加热区域包括腔体壁、真空管道、阀、防着板等，防着板加热温度≥200℃；

（2）上电极采用感应耦合等离子体源，功率≥2000W，频率≤13.56MHz，可以调节等离子体分布范围，配置自动匹配单元，匹配时间≤3秒，反射功率≤1%；

（3）下电极配置偏压射频源，功率≥1000W，频率≥12.5MHz，配备自动匹配单元，匹配时间≤3秒，反射功率≤1%（输出功率≥300W）或≤2W（输出功率≤300W）。

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订后2个月内到货验收。

1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3投标人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型号的销售量≥3套，提供设备销售业绩证明（提供有效的合同、技术协议及验收报告等证明材料复印件）。

2.4本项目不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2026年1月30日至2026年2月6日17时(北京时间)，登录中航工业电子采购平台（

3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:

3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年3月5日9时00分（北京时间），投标人应在截止时间前通过中航工业电子采购平台（

4.2逾期送达的投标文件，中航工业电子采购平台将予以拒收。

4.3投标人未按要求上传加密电子版投标文件，或平台软件无法获取、解密投标人上传的电子版投标文件，招标人不予受理。

5. 开标

开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在本网站、中航工业电子采购平台、中国国际招标网、和中招联合招标采购平台上发布。

7. 监督部门

本招标项目的监督部门为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所纪检部/审计法律部

8. 联系方式（含异议受理）

招标人名称：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

地址：陕西省西安市高新区锦业路129号

联系人：任经理

电话：029-61886363

招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

售卖联系人：郗女士

电话： 029-89249895

项目负责人：王玮

电话：029-89248691、029-89248368

传真：010-88529153

电子邮件：zhaobiaobu@

2026年1月30日