1. 招标条件

本招标项目高精度无掩膜光刻系统招标人为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，招标项目资金已落实。该项目已具备招标条件，现对高精度无掩膜光刻系统采购进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20260341A012

2.2 招标项目名称：高精度无掩膜光刻系统

2.3 数量：1台

2.4 设备用途及系统组成：

设备用途：高精度无掩膜光刻系统采用先进的数字光刻技术，无需掩模版即可直接将图形转移到涂有光刻胶的衬底上。该设备具备高套刻精度和高曝光速度的特点，适用于集成光子芯片研发及量产环节中的电极图形曝光：在快速研发阶段，可高效处理大面积、低分辨率要求的电极图形；在量产阶段，因其无需定制掩模板的特性，有助于降低成本和缩短周期，实现高效的电极图形曝光。

系统组成：高精度无掩膜光刻系统主要由曝光系统，对准系统，环控系统，软件系统，数据系统五大模块组成。

2.5 交货地点：西安（用户现场指定地点）。

2.6 交货期：合同签订生效后6个月内。

3. 投标人资格要求：

3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 财务要求：投标人应附2024年经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，包括审计报告正文、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务报表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供经审计的或单位内审的2024年财务报表。

3.3 业绩要求：投标人所投标设备2022年1月1日至今同品牌同型号的销售量≥3台，提供设备销售业绩证明（提供有效的合同、技术协议及验收报告等证明材料复印件）。

3.4 信誉要求：投标人在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或国家企业公示系统或中国执行信息公开网的查询结果）或信誉承诺书。

3.5 本次招标不接受联合体投标。

3.6 本次招标接受代理商投标，一个制造商对同一品牌同一型号的设备，仅能委托一个代理商参加投标。提供制造商的授权书原件。(本设备指“高精度无掩膜光刻系统”)

3.7 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2026年1月30日至2026年2月6日17时(北京时间)，登录中航工业电子采购平台（

4.2 招标文件售卖

每套招标文件售价人民币 800 元整，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接:

4.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年3月5日9时00分（北京时间），投标人应在截止时间前通过中航工业电子采购平台（

5.2逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在本网站、中招联合招标采购平台和和中航工业电子采购平台上发布。

7. 监督部门

本招标项目的监督部门为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所纪检部/审计法律部

8. 联系方式（含异议受理）

招标人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

地址：陕西省西安市高新区锦业路129号

邮编：710065

联系人：任经理

电话：029-61886363

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼六层

邮编： 100039

联系人：郗女士

电话：029-89249895

项目负责人：王玮

电话：029-89248691、029-89248368

传真：010-88529153

电子邮件：zhaobiaobu@

2026年1月30日