采购项目名称

清华大学化学机械抛光（CMP）后单片清洗设备采购项目

品目

货物/设备/电工、电子生产设备/电子工业生产设备

采购单位

清华大学

行政区域

北京市

公告时间

2026年08月12日16:24

评审专家名单

金晨、韩毅、沈先锋、姜明、孙祖鹏（最后一名为采购人代表）

总中标金额

￥292.000000万元（人民币）

联系人及联系方式：

项目联系人

刁玉蕊、张骏

项目联系电话

010-63905815、010-63905973

采购单位

清华大学

采购单位地址

北京市海淀区清华园

采购单位联系方式

010-62780051

代理机构名称

新华招标有限公司

代理机构地址

北京市海淀区莲花池东路39号西金大厦8层

代理机构联系方式

张骏010-63905815

附件：

附件1

关于符合本国产品标准的声明函及成本占比承诺函.pdf

附件2

中标结果公告-清华大学化学机械抛光（CMP）后单片清洗设备采购项目.pdf

附件3

招标文件-清华大学化学机械抛光（CMP）后单片清洗设备采购项目-发售版.pdf

一、项目编号：清采招第20260259号/XHTC-HW-2026-0984（招标文件编号：清采招第20260259号/XHTC-HW-2026-0984）

二、项目名称：清华大学化学机械抛光（CMP）后单片清洗设备采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：深圳市矢量科学仪器有限公司

供应商地址：深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

中标（成交）金额：292.0000000（万元）

四、主要标的信息

序号

供应商名称

货物名称

货物品牌

货物型号

货物数量

货物单价(元)

1

深圳市矢量科学仪器有限公司

化学机械抛光（CMP）后单片清洗设备

CETC45

DFQ-802QX

1套

2920000.00

五、评审专家（单一采购人员）名单：

金晨、韩毅、沈先锋、姜明、孙祖鹏（最后一名为采购人代表）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：详见招标文件。

本项目代理费总金额：2.889600万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

1.中标供应商评审总得分：93.22分。

2.本中标公告在清华大学采购信息发布平台（